概述

传感器两侧的支架是开放的,以防止不均匀的压力变化。一个常见的应用是原子层沉积(ALD)。

规范

通用规范
兼容性 兼容所有QSense传感器,QSense Explorer, Analyzer和Pro
最大压力 没有限制
测量类型 真空和高压室中的气体测量
最高温度 250°C
暴露在液体中的物质 不锈钢(座圈)、麦柯(座)、铝(座)、卡普顿(电缆)
高度:5毫米;宽度:24毫米;深度:32mm
电缆长度 电子单元到真空/高压室:80厘米。真空/高压室到ALD支架:1米
其他
需要客户安装/调整。
附带2根电缆:一根连接ALD支架到真空或高压室内部,一根连接到QCM-D电子单元。
螺丝孔,使安装在真空/高压室。

兼容性

兼容性

  • 所有QSense传感器
  • QSense探险家
  • QSense分析仪
  • QSense职业