CMP中的QSense分析

CMP(化学机械平面化)方法依赖于几个方面纳米级表面相互作用过程，也是成功的过程CMP的结果。不管是否你的野心是发展和定制高性能浆料，改善污染控制，或者实现可靠的CMP协议，一切都始于一种理解，表面分子的控制涉及的交互。

在这个概述中，我们将介绍如何操作QSense®QCM-D技术可以用于分子-表面相互作用CMP的分析与优化相关流程。我们也是恶魔strate什么信息QSense测量。

本概述包括以下分析:

• 加性-表面相互作用
• 除渣
• 表面腐蚀